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納米光譜在線測厚儀

品牌型號: 賽默斐視

檢測對象: 薄膜/鍍膜/涂布等

厚度范圍: 10納米-100微米

檢測精度: 0.1mm(取決于相機數(shù)量、產線幅寬及車速)

軟件功能: 提供針對客戶在線系統(tǒng)的定制檢測系統(tǒng)

產品介紹

  現(xiàn)代薄膜涂布鍍層工藝在進行在線生產過程中,需要對膜厚及涂層厚度進行實時的在線測厚,由于傳統(tǒng)的射線類膜厚檢測儀檢測精度低、易偏移、難于校準等缺點給實際的工藝產品質量控制造成了很大的影響,SIMV涂層(膜厚)在線測厚儀,采用納米光學干涉的方式,可同時對20層不用涂層、薄膜進行同時測量,同時精度高達1nm,完美的解決了傳統(tǒng)射線類在線測厚儀有輻射、偏移周期長、檢測精度低、不能檢測涂層厚度的缺點。賽默斐視涂層厚度在線測厚儀檢測精度高,同時能夠實時在線自動校準,有效的保證了在線測厚儀的檢測精度。

  【檢測原理】

  當特定波長的光通過不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)時,經過表面及內部多次反射之后形成的光譜條紋是完全不一樣的,系統(tǒng)通過分析所接收到的反射光的光譜干涉條紋特性,與系統(tǒng)庫中的光譜曲線進行匹配和對比,同時進行特征曲線的仿真和擬合,進而對每種不同成分厚度的涂層進行在線測量。

  1.入射光在膜的上下表面發(fā)生多次反射。

  2.反射光的強度和薄膜折射率,基底(substrate)折射率及膜厚,波長有關。

  3.在已知折射率的情況下,根據(jù)測量出的反射光強和波長的函數(shù),計算出膜厚。

  由上面兩張圖片對比可以發(fā)現(xiàn),特定波長的光經過某種不同的材料(不同厚度、密度、類型)內部反射之后所產生的光譜干涉條紋完全不同,如上圖圖中黑色線條部分,根據(jù)每種干涉條紋與系統(tǒng)庫中的條紋進行對比仿真擬合,從而檢測出實際的材料厚度。

  【系統(tǒng)功能】

序號 功能概述
1 測量鍍膜或涂布厚度,厚度范圍在10納米-100微米,準確度達到2納米或厚度0.4%,精度達到0.1納米,測量穩(wěn)定性0.3納米。
2 精確測量樣品的顏色和在380-780納米可見光范圍內的反射率曲線。
3 測量軟件支持20層以內的物理模型,并對多個參數(shù)進行同時測量。
4 具有折射率模型編輯擬合功能,對于100納米-幾個微米的膜,可以在折射率未知的情況下,結合軟件對膜厚,折射率參數(shù)進行同時測量。
5 軟件具有對樣品的粗糙度,背面反射,多角度入射進行建模的功能
6 軟件還可針對已知樣品的模型,使用不同入射角和偏振進行仿真以計算不同情況下反射率曲線。
7 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫,同時還支持函數(shù)型(Cauchy,Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。
8 客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料,菜單進行管理并回溯檢查測量結果
9 我們還提供針對客戶在線系統(tǒng)的定制檢測系統(tǒng)。

  【軟件介紹】

  軟件主界面基本示意如下圖所示:

  【現(xiàn)場應用】

  涂層/膠層在線測厚系統(tǒng)在保護膜、膠帶的現(xiàn)場應用如下圖所示。

涂層/膠層在線測厚系統(tǒng)